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仪器品牌:伯东
仪器产地:上海浦东新
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采用电热器作为热源的高效废气处理设备 拥有取得专利的前后淋水技术,最适合于处理CVD制程等工艺的废气。 |
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特点 设备前部、后部都有洗涤器,操作方便 有效的分解热氧化产生的有毒危险气体 , 安全、紧凑化设计,运行成本低 ,环保 可 在包含无尘室的任意环境安装 型式 :电加热式、水洗式、等离子式、吸附式 处理效率 :99%以上
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