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美国SONIX超声显微镜 ECHO VS™
仪器价格：￥电议
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仪器型号：SONIX
仪器品牌：似空
仪器产地：上海浦东新
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声波扫描显微镜被广泛应用于半导体以及集成电路的制造和封装测试行业，是一种理想的无损检测仪器，能够有效地检测器件或材料内部的开裂、气泡、杂质、断层等缺陷。
其主要工作原理是，通过压电陶瓷将电信号转换成超声波（>20KHz），用超声波对样品内部进行高精度地扫描，根据超声波在不同密度材料中的传播速度和反射系数的差异，获得样品内部不同区域的超声波透射或反射，再经由软件算法处理和成像。SAM的核心构成为，电气部件、机械装置、声学部件、软件系统。
SONIX ECHO VS™ 是专为更高精度要求，更复杂元器件设计的新一代设备。
广泛应用在 Flip chips，Stacked die，Bumped die，Bonded wafers 等。
● 高分辨率下，扫描速度是传统超声波扫描显微镜的2.5倍
● 独有的波形模拟器(Waveform Simulator)及波束仿真(Beam Emulator)
● 扫描分辨率小于1微米
● 水温控制系统及紫外杀菌系统超高频状态工作下，信号更稳定
